Effect of applying electric bias at different thermal stages on the properties of PZT thin films with distinct Zr/Ti ratios
碩士 === 國立清華大學 === 材料科學工程學系 === 98 === 本實驗以溶膠凝膠法配置不同Zr/Ti比例之鋯鈦酸鉛(PZT)溶液，以旋鍍方式鍍於Pt/ TiOx/ SiO2/ Si基板，並在鐵電薄膜退火過程中階段性的施加垂直膜面的正負電場，探討在不同階段下施加電場對薄膜特性的影響。本實驗施加於試片之電場約為333KV/cm，遠大於文獻中所提及之電場強度及矯頑電場。 實驗結果顯示，隨著不同成分及不同的加電場條件，均會對其薄膜優選方向、顯微結構以及鐵電特性等有所影響。在Zr/Ti比例為Zr55時，隨著不同的電場條件其優選方向隨之改變；在Holding時施加電場，薄膜趨向random；在...
| Main Authors: | , |
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| Other Authors: | |
| Format: | Others |
| Language: | en_US |
| Published: |
2010
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| Online Access: | http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/06769948224193390974 |