射頻磁控濺鍍氮化鋅及氧化鋅薄膜研究

碩士 === 國立清華大學 === 材料科學工程學系 === 98

Bibliographic Details
Main Authors: Hsu, Ching-Ho, 許景河
Other Authors: Wu, Jenn-Ming
Format: Others
Language:zh-TW
Published: 2010
Online Access:http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/46939320057991422416