Investigation and application of surface plasma treatment on magnetic films with perpendicular anisotropy
碩士 === 國立清華大學 === 材料科學工程學系 === 98 === 本論文研究主題可分為兩部份。在第一部份中，深入探討鐵鉑薄膜表面粗糙度，及對應Neel coupling的改變。在鍍製完下層垂直磁性穿隧接面（magnetic tunnel junction） 結構至鐵鉑層後，對其表面進行電漿表面處理，之後鍍上氧化鎂層及上層鐵磁層。鐵鉑層的表面粗糙度在過程中獲得改善，然而不同處理條件所對應的Neel coupling變化不大。另一方面，利用氬氣和氧氣混和組成的電漿進行表面處理，我們發現即使以極短時間進行表面處理，上下鐵磁層仍會去耦合（decoupling），另外利用光電子能譜儀 （X-r...
| Main Authors: | , |
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| Other Authors: | |
| Format: | Others |
| Language: | en_US |
| Published: |
2010
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| Online Access: | http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/79831833170036831217 |