Optimal Shape Design of Micro-Cantilever Beam for Bio-sensing
碩士 === 國立清華大學 === 動力機械工程學系 === 98 === 微機電製程技術已經廣泛地運用在生物感測方面，由生物體附著改變微懸臂樑質量，可以利用共振頻率的變化來檢測出相對應的目標數。低長寬比(尤以長度越短彈性係數越大)的懸臂樑在同質量變化下，有更明顯的頻率轉變。本論文所提出的中空式微懸臂樑結構，可以提昇在懸臂樑製程中的蝕刻效率，以及圖型定義的精確度。使用三種基礎幾何形狀的中空式懸臂樑：長方形、三角形及半橢圓形在雷射光點大小與圖型線寬的限制下，以感測表面積為5000μm2為準，分別由長寬比0.5、1、2，配合相似形狀中空結構長寬比0(無中空)、0.5、1、2予以分析。固定感測表面積...
| Main Authors: | , |
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| Other Authors: | |
| Format: | Others |
| Language: | en_US |
| Published: |
2010
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| Online Access: | http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/79582385241663162613 |