A Billow-mimetically Peristaltic Micropump Based on Acoustic Streaming Generated by Quartz Actuator
碩士 === 國立清華大學 === 動力機械工程學系 === 98 === 在此研究中，我們成功地利用石英產生的聲波擾流 (acoustic streaming) 實現了一種仿浪濤之蠕動式微型幫浦；其中，擁有厚度振動模態的X 切向 (X-cut)石英晶片同時擔任了基材和制動器的角色，並且憑藉著石英本身的壓電特性和極高的品質係數 (Q-factor) ，我們即可簡單地利用沈積一對上下電極的方式，在石英晶片上定義出制動區的範圍，又因其對質量負荷的高靈敏度，即使只在石英晶片表面放置一微質量，也會造成其諧振頻率的向下偏移。因此，我們以上述的特性為基礎，利用一傾斜的玻璃上蓋形成兩側相異的流道高度...
| Main Authors: | , |
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| Other Authors: | |
| Format: | Others |
| Language: | en_US |
| Published: |
2010
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| Online Access: | http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/29723391683809387724 |