氦離子對於氫分子離子佈植於矽所引發表面發泡之影響研究

氦離子對於氫分子離子佈植於矽所引發表面發泡之影響研究

碩士 === 國立清華大學 === 工程與系統科學系 === 98

Bibliographic Details
Main Authors:	Huang, Ming-Hao, 黃明皓
Other Authors:	Liang, Jenq-Horng
Format:	Others
Language:	zh-TW
Published:	2010
Online Access:	http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/67169826667373825270

Internet

http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/67169826667373825270