高遷移率之氧化銦鉬薄膜應用於有機太陽能電池之研究
碩士 === 國立清華大學 === 光電工程研究所 === 99 === 近年來，透明導電薄膜在光電產業領域中極受歡迎，許多不同的導電薄膜被廣泛深入的研究。主要的光電產品如太陽能電池、發光二極體、平面顯示器等都與透明導電玻璃息息相關。所以發展新一代的導電薄膜是必要的。氧化銦鉬(Indium molybdenum oxides, IMO)薄膜近年來深深的受到重視，因其具有高電子遷移率和低電阻率的特性，能有效的提高近紅外光區域的穿透率。本論文中主要探討利用RF磁控濺鍍法在玻璃基板上製備IMO薄膜。以共濺鍍的方式改變氧化銦和鉬金屬靶的濺鍍功率比例，以得到不同比例的氧化銦鉬薄膜。製備薄膜完成後再進行退...
| Main Authors: | , |
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| Other Authors: | |
| Format: | Others |
| Language: | en_US |
| Published: |
2011
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| Online Access: | http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/55491130353395651714 |