微機電系統靜電吸附效應之探討與應用
博士 === 國立清華大學 === 動力機械工程學系 === 99 === 微機電靜電式元件具有製程穩定、材料選擇多樣化、結構可靠度較佳、與積體電路整合容易，不易受環境影響及容易控制的特性。然而，靜電式元件容易受非線性靜電力影響而出現電極吸附現象，導致元件短路而造成失效。本文針對此吸附現象分析與探討，透過能量法與等效電路法方式，建立微機電元件靜電吸附現象之理論模型，並以有現單元分析軟體與實驗進行驗證。 本論文首先分析微懸臂樑結構與微橋樑結構之靜電遲滯現象並提出其相關之理數學模型。藉由本文之模型，提出利用遲滯現象萃取材料性質的方法，透過推算吸附電壓、回復電壓與材料係數之關係，成功地量測微機電元件...
| Main Authors: | , |
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| Other Authors: | |
| Format: | Others |
| Language: | en_US |
| Published: |
2011
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| Online Access: | http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/56148426882976385403 |