New Trench Isolation Technology for High-Aspect-Ratio MEMS Structure
碩士 === 國立高雄第一科技大學 === 機械與自動化工程研究所 === 101 === (延後公開至2015/05/08止)
| Main Authors: | , |
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| Other Authors: | |
| Format: | Others |
| Language: | zh-TW |
| Published: |
2013
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| Online Access: | http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/06573616427780280604 |