Resistividad eléctrica de películas delgadas de cobre recubiertas con TiO

Magíster en Ciencias, Mención Física === En esta tesis se presenta el diseño e implementación de un sistema que permite preparar películas delgadas metálicas, mediante el método de evaporación por haz de electrones, controlando la temperatura de sustrato al momento de la evaporación en el rango de -...

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Bibliographic Details
Main Author: Alarcón Reyes, Nicolás Alonso
Other Authors: Flores Carrasco, Marcos
Language:es
Published: Universidad de Chile 2015
Subjects:
Online Access:http://repositorio.uchile.cl/handle/2250/131353