アンバランスドマグネトロンスパッタ法により形成したダイヤモンドライクカーボン膜の密着性に関する研究
博士(工学) === Doctor of Philosophy in Engineering === 同志社大学 === Doshisha University
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Others |
| Language: | ja |
| Published: |
2008
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| Online Access: | https://doshisha.repo.nii.ac.jp/?action=repository_uri&item_id=794 http://id.nii.ac.jp/1707/00000786/ https://doshisha.repo.nii.ac.jp/?action=repository_action_common_download&item_id=794&item_no=1&attribute_id=21&file_no=1 |