薄膜の機械的特性の評価方法とMEMSの高機能化に関する研究
Kyoto University (京都大学) === 0048 === 新制・課程博士 === 博士(工学) === 甲第10498号 === 工博第2329号 === 新制||工||1297(附属図書館) === UT51-2003-U468 === 京都大学大学院工学研究科機械工学専攻 === (主査)教授 小寺 秀俊, 教授 島 進, 教授 北村 隆行 === 学位規則第4条第1項該当...
| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Format: | Others |
| Language: | Japanese |
| Published: |
京都大学 (Kyoto University)
2011
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://hdl.handle.net/2433/148297 |