Control of Step Structures on Silicon Carbide Surfaces in Epitaxial Growth toward Electronic Devices

Kyoto University (京都大学) === 0048 === 新制・課程博士 === 博士(工学) === 甲第9834号 === 工博第2198号 === 新制||工||1253(附属図書館) === UT51-2003-B374 === 京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻 === (主査)教授 松波 弘之, 教授 野田 進, 教授 藤田 靜雄 === 学位規則第4条第1項該当...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Nakamura, Shunichi
Other Authors: 松波, 弘之
Format: Others
Language:English
Published: 京都大学 (Kyoto University) 2011
Subjects:
500
Online Access:http://hdl.handle.net/2433/149454