III-V族半導体の反応性ビームエッチング技術の開発と光デバイスへの応用に関する研究

III-V族半導体の反応性ビームエッチング技術の開発と光デバイスへの応用に関する研究

Kyoto University (京都大学) === 0048 === 新制・論文博士 === 博士(工学) === 乙第10466号 === 論工博第3530号 === 新制||工||1188(附属図書館) === UT51-2000-M49 === (主査)教授 藤田 茂夫, 教授 石川 順三, 教授 野田 進 === 学位規則第4条第2項該当

Bibliographic Details
Main Author: 奥, 哲
Other Authors: 藤田, 茂夫
Format: Others
Language:Japanese
Published: 京都大学 2011
Subjects:
500
Online Access:http://hdl.handle.net/2433/151519

Internet

http://hdl.handle.net/2433/151519

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