CZ-Si単結晶中の酸化物析出と酸化誘起積層欠陥に関する研究
本文データは平成22年度国立国会図書館の学位論文(博士)のデジタル化実施により作成された画像ファイルを基にpdf変換したものである === Kyoto University (京都大学) === 0048 === 新制・論文博士 === 博士(工学) === 乙第9662号 === 論工博第3260号 === 新制||工||1089(附属図書館) === UT51-97-S329 === (主査)教授 万波 通彦, 教授 大谷 隆一, 教授 山口 正治 === 学位規則第4条第2項該当...
| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Format: | Others |
| Language: | Japanese |
| Published: |
京都大学
2012
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://hdl.handle.net/2433/157017 |