EPITAXIAL GROWTH OF SiC BY CHEMICAL VAPOR DEPOSITION AND APPLICATION TO ELECTRONIC DEVICES
Kyoto University (京都大学) === 0048 === 新制・課程博士 === 工学博士 === 甲第3995号 === 工博第1005号 === 新制||工||716(附属図書館) === UT51-63-J229 === 京都大学大学院工学研究科電気工学第二専攻 === (主査)教授 松波 弘之, 教授 佐々木 昭夫, 教授 藤田 茂夫 === 学位規則第5条第1項該当...
| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Format: | Others |
| Language: | English |
| Published: |
Kyoto University
2012
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://hdl.handle.net/2433/162216 |