Strain-Controlled AlN Growth on SiC Substrates

京都大学 === 0048 === 新制・課程博士 === 博士(工学) === 甲第19997号 === 工博第4241号 === 新制||工||1656(附属図書館) === 33093 === 京都大学大学院工学研究科電子工学専攻 === (主査)教授 木本 恒暢, 教授 藤田 静雄, 准教授 船戸 充 === 学位規則第4条第1項該当 === Doctor of Philosophy (Engineering) === Kyoto University === DGAM...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Kaneko, Mitsuaki
Other Authors: 木本, 恒暢
Format: Doctoral Thesis
Language:English
Published: 京都大学 (Kyoto University) 2016
Subjects:
500
Online Access:http://hdl.handle.net/2433/217172