[en] STRUCTURAL AND MECHANICAL PROPERTIES OF THIN FILMS DEPOSITED FROM HEXAMETHYLDISILAZANE BY PECVD

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[pt] Esta dissertação teve como objetivo estudar as propriedades estruturais, mecânicas dos filmes de silício carbono nitrogenado amorfo (a-SiC:N) e a viabilidade do seu uso como camada adesiva entre filmes finos de carbono amorfo hidrogenado e aço inoxidável 316L. Os filmes de a-SiC:N foram crescid...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: NEILETH JOHANNA STAND FIGUEROA
Other Authors: MARCELO EDUARDO HUGUENIN MAIA DA COSTA
Language:pt
Published: MAXWELL 2015
Subjects:
[pt] PROPRIEDADES MECANICAS
[en] MECHANICAL PROPERTIES
[pt] FILMES FINOS
[en] THIN FILMS
[pt] HEXAMETILDISSILASANO
[en] HEXAMETHYLDISILAZANE
[pt] PECVD
[en] PECVD
[pt] PROPRIEDADES ESTRUTURAIS
[en] STRUCTURAL PROPERTIES
Online Access:https://www.maxwell.vrac.puc-rio.br/Busca_etds.php?strSecao=resultado&nrSeq=24214@1
https://www.maxwell.vrac.puc-rio.br/Busca_etds.php?strSecao=resultado&nrSeq=24214@2
http://doi.org/10.17771/PUCRio.acad.24214

Internet

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http://doi.org/10.17771/PUCRio.acad.24214

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