[en] SYNTHESIS AND CHARACTERIZATION OF SILICON NITRIDE NANOSTRUCTURES FROM THE CHEMICAL REACTION IN VAPOR PHASE
[pt] Pós nanoestruturados de nitreto de silício (Si3N4) foram sintetizados a 300 graus Celsius por precipitação a partir da reação em fase vapor entre o cloreto de silício (SiCl4) e a amônia (NH3). O argônio (Ar) foi utilizado como gás de arraste. Além do pó de nitreto de silício amorfo, o cloreto d...
| Main Author: | |
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| Language: | pt |
| Published: |
MAXWELL
2019
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://www.maxwell.vrac.puc-rio.br/Busca_etds.php?strSecao=resultado&nrSeq=37377@1 http://www.maxwell.vrac.puc-rio.br/Busca_etds.php?strSecao=resultado&nrSeq=37377@2 http://doi.org/10.17771/PUCRio.acad.37377 |