[en] STRUCTURAL, MECHANICAL, TRIBOLOGICAL PROPERTIES AND THERMAL STABILITY OF FLUORINATED AMORPHOUS CARBON FILMS DEPOSITED BY PECVD
[pt] Neste trabalho são apresentados os efeitos nas propriedades mecânicas, estruturais e tribológicas da incorporação de flúor em filmes de carbono amorfo hidrogenados depositados por Deposição na Fase Vapor Assistido por Plasma . A estabilidade térmica de filmes de carbono amorfo fluorados...
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| Language: | pt |
| Published: |
MAXWELL
2005
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| Online Access: | https://www.maxwell.vrac.puc-rio.br/Busca_etds.php?strSecao=resultado&nrSeq=6376@1 https://www.maxwell.vrac.puc-rio.br/Busca_etds.php?strSecao=resultado&nrSeq=6376@2 http://doi.org/10.17771/PUCRio.acad.6376 |