Films polymères organosiliciés multifonctionnels déposés et modifiés dans un réacteur duplex en post décharge d'un plasma micro-onde
Les polymères organosiliciés déposés à partir de la décomposition du monomère TMDSO dans une post-décharge d'un plasma d'azote présentent des propriétés attrayantes pour des applications demandant des vitesses de dépôts élevées. Ces polymères, ayant une structure siloxane, ont été étudiés...
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Language: | fr en |
| Published: |
2008
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://www.theses.fr/2008LIL10125/document |