Réalisation de jonctions ultra-minces par recuit laser : applications aux détecteurs UV
Depuis les années 1970, la taille des composants n’a cessé de diminuer. La réalisation de jonctions ultra-minces et fortement dopées est devenue un point clef dans la réduction des dispositifs microélectroniques. Les techniques de production doivent évoluer afin de répondre aux spécifications drast...
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| Language: | fr |
| Published: |
2010
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| Online Access: | http://www.theses.fr/2010AIX22114/document |