Intégration de systèmes multi-capteurs CMOS-MEMS : application à une centrale d’attitude
Les systèmes électroniques actuels intègrent de plus en plus de fonctionnalités nécessitant l'intégration de capteurs très variés. Ces systèmes hétérogènes sont complexes à intégrer notamment lorsque différentes technologies de fabrication sont nécessaires pour les capteurs.Les technologies de...
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| Language: | fr |
| Published: |
2010
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| Online Access: | http://www.theses.fr/2010MON20152/document |