Étude de micropoutres sérigraphiées pour des applications capteurs

Étude de micropoutres sérigraphiées pour des applications capteurs

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Dans cette thèse, des structures MEMS de type micropoutre ont été conçues pour des applications capteurs. Un procédé de fabrication alternatif au silicium, associant la technique de sérigraphie à l'utilisation d’une couche sacrificielle (SrCO3), a été utilisé pour la réalisation de micropoutres...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Lakhmi, Riadh
Other Authors: Bordeaux 1
Language:fr
Published: 2011
Subjects:
Micropoutre
Capteur
Sérigraphie
Piézoélectricité
PZT
Mode 31-longitudinal
Espèces chimiques
Couche sensible PEUT
Phase gazeuse
Phase liquide
Force
Piezorésistivité
Sensibilité
Cantilever
Sensor
Screen-printing
Piezoelectricity
31-longitudinal mode
Chemical species
PEUT sensitive layer
Gas phase
Liquid phase
Piezoresistivity
Sensitivity
Online Access:http://www.theses.fr/2011BOR14358/document

Internet

http://www.theses.fr/2011BOR14358/document

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