Simulation électromagnétique utilisant une méthode modale de décomposition en ondelettes
La scattéromètrie requiert le calcul de la réponse optique de structures périodiques. Parmi les méthodes numériques de calcul électromagnétique de la diffraction par des réseaux, la méthode la plus couramment utilisée est la Méthode Modale de Fourier (FMM). Celle cis'avère peu efficace pour la...
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| Language: | fr |
| Published: |
2011
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| Online Access: | http://www.theses.fr/2011GRENT030/document |