Développement du pompage de charges pour la caractérisation in-situ de nanocristaux de Si synthétisés localement dans SiO2 par implantation ionique basse énergie et lithographie stencil
Le regain d'attention des industriels pour les mémoires non volatiles intégrant des nanocristaux, illustré par l'introduction sur le marché de la Flexmemory de Freescale en technologie 90 nm, incite à poursuivre des études sur ce type de systèmes. Pour cela, nous avons mis au point des cel...
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Language: | fr |
Published: |
2011
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Online Access: | http://www.theses.fr/2011ISAT0034/document |