Impact du packaging sur le comportement d'un capteur de pression piézorésistif pour application aéronautique
La protection de nombreux capteurs de pression en milieux hostiles se résume souvent en un boitier métallique hermétique rempli d’huile enveloppant la puce. La pression agit alors sur une membrane métallique qui agit sur la puce par l’intermédiaire de l’huile jugée incompressible. Cette encapsulatio...
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| Language: | fr |
| Published: |
2011
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| Online Access: | http://www.theses.fr/2011ISAT0035 |