SiC oxidation processing technology for MOSFETs fabrication

De nos jours, les dispositifs d'électroniques de puissance sont principalement basés sur la technologie silicium qui est mature et très bien établie. Toutefois, le silicium présente quelques limitations importantes concernant les pertes de puissance, le fonctionnement à haute température et la...

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Bibliographic Details
Main Author: Constant, Aurore
Other Authors: Montpellier 2
Language:en
Published: 2011
Subjects:
SiC
Online Access:http://www.theses.fr/2011MON20061