Caractérisation, compréhension et modélisation de l'évolution des défauts induits par des cycles thermiques dans le silicium
Le silicium est le matériau de prédilection de l'industrie de la microélectronique. L'augmentation du coût de celui-ci a donc incité les différentes industries à optimiser l'utilisation des plaquettes de silicium. La réutilisation de plaquettes (recyclage) est donc devenue monnaie cou...
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| Language: | fr |
| Published: |
2012
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| Online Access: | http://www.theses.fr/2012AIXM4305/document |