Nouvelles générations de structures en diamant dopé au bore par technique de delta-dopage pour l'électronique de puissance : croissance par CVD et caractérisation
Dans ce projet de thèse, qui s'appuie sur l'optimisation d'un réacteur de croissance du diamant et la construction d'un prototype, nous avons démontré l'épitaxie par étapes de couches de diamant, orientées (100), lourdement dopées au bore sur des couches de dopage plus faibl...
| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Language: | en |
| Published: |
2012
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://www.theses.fr/2012GRENI018/document |