Conception et évaluation des performances d'un microgyromètre vibrant triaxial en GaAS à structure plane
Cette thèse présente la conception d'un microgyromètre MEMS triaxial. Les microgyromètres ont de nombreuses applications telles que le contrôle d'attitude de drones ou l'interfaces homme/machine. Les microgyromètres triaxiaux sont particulièrement avantageux car ils permettent de déte...
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| Language: | fr |
| Published: |
2012
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| Online Access: | http://www.theses.fr/2012PA112119/document |