Réalisation des couches minces PMN-PT dans la technologie MEMS pour les applications hyperfréquences

Réalisation des couches minces PMN-PT dans la technologie MEMS pour les applications hyperfréquences

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Les systèmes d’information actuels reposent fortement sur les technologies micro-ondes utilisées pour les communications hertziennes. L’amélioration des performances des MEMS radio fréquence aptes à fonctionner dans la bande X (8 GHz et 12 GHz) est un enjeu important pour des applications de téléco...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Bui Meura, Kim Anh
Other Authors: Paris 11
Language:fr
Published: 2012
Subjects:
MEMS-RF
FeMEMS
PMN-PT
PZE
LSMO
Au/Pt/Au
Ferroelectrics
High-k matériels
Pyro-chlore
Membrane
Relaxation
Dispersion
Pérovskite
Diffraction des Rayons X
Bande X
Perte d’Insertion
Perte de Transmission
Constante diélectrique
RF-MEMS
PZT
High-k materials
Pyrochlores
Perovskite
X-Ray Diffraction
X band
Insertion Loss
Transmission Loss
Dielectric constant
Online Access:http://www.theses.fr/2012PA112232/document

Internet

http://www.theses.fr/2012PA112232/document

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