Modélisation, conception et caractérisation de transducteurs ultrasonores capacitifs micro-usinés
La transduction électrostatique est utilisée depuis plusieurs décennies dans les fréquences du domaine audible, principalement sous la forme de microphones membranaires. La transposition du même principe de transduction, mais dans un domaine de fréquence au-dessus du MHz, et par l’utilisation de dis...
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| Language: | fr |
| Published: |
2012
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| Online Access: | http://www.theses.fr/2012TOUR3308/document |