Métrologie des dimensions critiques : scatterométrie et développements avancés
L’industrie des nanotechnologies est un monde en constante évolution. Les améliorations dans les techniques de fabrication permettent de définir des composants de plus en plus petits. Afin de vérifier les dimensions fabriquées, la métrologie doit s’adapter et être capable de fournir des analyses bas...
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| Language: | fr |
| Published: |
2013
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| Online Access: | http://www.theses.fr/2013AIXM4345/document |