Caractérisarion physique par imagerie électronique de défauts dans les technologies mémoires avancées

De nos jours, l'essor des produits électroniques nomades requièrent une capacité de stockage de données croissante et imposent la fabrication de composants mémoire performants, denses et fiables. Cela implique une grande robustesse des cellules mémoires élémentaires dont les dimensions caractér...

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Bibliographic Details
Main Author: Petit-Faivre, Emilie
Other Authors: Aix-Marseille
Language:fr
Published: 2013
Subjects:
Online Access:http://www.theses.fr/2013AIXM4795/document