Dégradation par électromigration dans les interconnexions en cuivre : étude des facteurs d'amélioration des durées de vie et analyse des défaillances précoces

Les circuits intégrés sont partie prenante de tous les secteurs industriels et de la vie couranteactuels. Leurs dimensions sont sans cesse réduites afin d’accroître leurs performances. Cetteminiaturisation s’accompagne notamment d’une densification et d’une complexification du réseaud’interconnexion...

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Bibliographic Details
Main Author: Bana, Franck Lionel
Other Authors: Grenoble
Language:fr
Published: 2013
Subjects:
620
Online Access:http://www.theses.fr/2013GRENI081/document