Caractérisation de phénomènes physiques associés à l'ouverture et à la fermeture dans un relais MEMS.
Cette thèse s'inscrit dans la continuité des études menées pour améliorer la fiabilité des relais MEMS ohmiques et comprendre les mécanismes de dégradation se produisant au niveau du contact électrique aux échelles micro et sub-micrométriques. Les deux premiers chapitres de ce manuscrit permett...
| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Language: | fr |
| Published: |
2013
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| Online Access: | http://www.theses.fr/2013GRENT064/document |