Design, fabrication and characterization of MEMS-based oscillating AFM probes
La plupart de sondes oscillantes pour microscope à force atomique (AFM) commerciale sont basées sur des micro- cantilevers qui peuvent donner la mesure avec une résolution pico-Newton. Toutefois, ces résonateurs de flexion souffrent de faible fréquence de résonance et de facteur de qualité lors de l...
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Language: | en |
| Published: |
2013
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://www.theses.fr/2013LIL10019 |