Formation et comportement de nanoparticules dans un plasma : instabilités dans les plasmas poudreux

L'objectif de cette thèse est l'étude de la formation de nanoparticules carbonées dans un plasma basse pression. Les poussières sont créées par pulvérisation d'une couche de polymère déposée sur l'électrode d'une décharge radio fréquence à couplage capacitif. La présence des...

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Bibliographic Details
Main Author: Tawidian, Hagop-Jack
Other Authors: Orléans
Language:en
Published: 2013
Subjects:
ATI
RF
Online Access:http://www.theses.fr/2013ORLE2033/document