Conception et réalisation d'un capteur MEMS multifonctions

La problématique entourant la mise en oeuvre, la conception et le conditionnement de micro-capteurs au sein d'une application embarquée représente un enjeu industriel majeur, consiste en un vaste ensemble de défis techniques et touche à de nombreux champs de recherche scientifiques comme d'...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Legendre, Olivier
Other Authors: Paris 11
Language:fr
Published: 2013
Subjects:
Online Access:http://www.theses.fr/2013PA112238/document