Élaboration de carbure de silicium amorphe hydrogéné par PECVD : Optimisation des propriétés optiques, structurales et passivantes pour des applications photovoltaïques
Notre étude concerne la mise en place et le développement de dépôts de carbure de silicium amorphe hydrogéné (a-SiCx:H) à basse température (370°C), par voie PECVD, sur un réacteur PECVD semi-industriel à faible fréquence (440 kHz). Les propriétés chimiques, optiques et de passivation de surface des...
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Language: | fr |
Published: |
2014
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Subjects: | |
Online Access: | http://www.theses.fr/2014ISAL0005 |