Caractérisation par acoustique picoseconde des propriétés mécaniques du PZT déposé en couches minces pour des applications MEMS
Les MEMS sont aujourd’hui une réalité économique et sont d’ores et déjà utilisés dans un grand nombre d’objets de notre quotidien. Ces composants peuvent utiliser un actionnement piézoélectrique, notamment à base de PZT déposé en couches minces, du fait de son fort coefficient piézoélectrique. Pour...
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| Language: | fr |
| Published: |
2014
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| Online Access: | http://www.theses.fr/2014LIL10040/document |