Conception de nanomatériaux à base d'oxyde par ALD : de la détection aux membranes

Conception de nanomatériaux à base d'oxyde par ALD : de la détection aux membranes === In this context, the aim of this PhD work is the synthesis of different nanostructured materials based on ALD oxide thin film (Al2O3, ZnO and Al2O3/ZnO nanolaminates) deposited on different types of substrate...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Abou Chaaya, Adib
Other Authors: Montpellier 2
Language:en
Published: 2014
Subjects:
Ald
Online Access:http://www.theses.fr/2014MON20117/document