Contribution à la mise en place d’un microscope à force Atomique métrologique (mAFM) : Conception d’une tête AFM métrologique et caractérisation métrologique de l’instrument.

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Bibliographic Details
Main Author: Boukellal, Younes
Other Authors: Cachan, Ecole normale supérieure
Language:fr
Published: 2015
Subjects:
Capteur
Fabrication
Métrologie
Instrumentation
Interféromètrie
Microscopie à force atomique
Metrology
Metrological atomic force microscope
Interferometer
Sensor
Online Access:http://www.theses.fr/2015DENS0015/document

Internet

http://www.theses.fr/2015DENS0015/document

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