Contribution à la mise en place d’un microscope à force Atomique métrologique (mAFM) : Conception d’une tête AFM métrologique et caractérisation métrologique de l’instrument.
Les microscopes en champ proche sont très largement utilisés pour caractériser des propriétés physiques à l’échelle du nanomètre. Afin d’assurer la cohérence et l’exactitude des mesures dimensionnelles qu’ils retournent, ces microscopes ont besoin d’être étalonnés périodiquement. Le raccordement à l...
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| Language: | fr |
| Published: |
2015
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://www.theses.fr/2015DENS0015/document |