Mesure de déformation et cristallinité à l'échelle nanométrique par diffraction électronique en mode précession

Mesure de déformation et cristallinité à l'échelle nanométrique par diffraction électronique en mode précession

La diffraction électronique en mode précession (PED) est une méthode récente d’acquisition de clichésde diffraction permettant de minimiser les interactions dynamiques. L’objectif de cette thèse est dedévelopper une méthodologie d’acquisition et de traitement des clichés de diffraction en modepréces...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Vigouroux, Mathieu
Other Authors: Grenoble
Language:fr
Published: 2015
Subjects:
Contraintes
Déformations
Polycristallinité
Diffraction Électronique en mode Précession (PED)
Relaxation
Éléments finis
Lame mince
Microscopie Électronique en Transmission (MET)
SiGe
InGaAs
Transistor "Ω-gate"
Mémoire à changement de phase (PRAM)
Strain
Deformation
Polycrystallinity
Precession electron diffraction (PED)
Strain relaxation
Finite element simulation
Transmission Electron Microscopy (MET)
"Ω-gate" transistor
Phase-change memory (PRAM).
530
Online Access:http://www.theses.fr/2015GRENY012/document

Internet

http://www.theses.fr/2015GRENY012/document

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