Etude et caractérisation de composants d’optique intégrée exploitant les propriétés électro-optiques d’oxydes fonctionnels épitaxiés
Ce travail de thèse porte sur la réalisation d’un nouveau modulateur électro-optique pouvant s’intégrer sur un substrat SOI. Le modulateur proposé utilise une structure dite à fente ou SLOT formée verticalement par la couche superficielle de silicium du matériau SOI sur laquelle on dépose la couche...
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Language: | fr |
| Published: |
2015
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://www.theses.fr/2015ISAL0083/document |