Nanolithographie catalytique par microscopie à force atomique : étude des paramètres physico-chimiques
Les procédés lithographiques sont de nos jours très utilisés au sein de l’industrie de la microélectronique pour réaliser des matériaux fonctionnels de taille nanométrique. L’obtention de composants de taille de plus en petite (<100 nm) nécessite la mise en œuvre de nouveaux procédés de fabricati...
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Language: | fr |
| Published: |
2016
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://www.theses.fr/2016AIXM4344/document |