Electrical and physicochemical characterization of metal gate processes for work function modulation and reduction of local VTH variability in 14FDSOI technologies

Electrical and physicochemical characterization of metal gate processes for work function modulation and reduction of local VTH variability in 14FDSOI technologies

Cette thèse porte sur l’élaboration et la caractérisation électrique et physico-chimique des grilles métalliques des dispositifs FDSOI MOSFET 14 nm à base d’oxyde high-K fabriqués chez STMicroelectronics. Ces grilles métalliques sont composées de couches de TiN, lanthane et aluminium, déposées par p...

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Bibliographic Details
Main Author: Suarez Segovia, Carlos Augusto
Other Authors: Grenoble Alpes
Language:en
Published: 2016
Subjects:
Grille métallique
Travail de sortie
Diffusion de dopants
Lanthanum
Aluminium
Spectroscopie de rayons X
Variabilité locale du VTH
Pulvérisation cathodique RF
Metal gate
Work function
Dopants diffusion
Aluminum
X-Ray spectroscopy
Local VTH variability
RF-PVD sputtering
620
Online Access:http://www.theses.fr/2016GREAT011/document

Internet

http://www.theses.fr/2016GREAT011/document

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