Modeling and control of a SEM-integrated nano-robotic system driven by piezoelectric stick-slip actuators
La capacité de réaliser des tâches robotiques dextres à l'échelle nanométrique dans un microscope électronique à balayage (MEB) est un enjeu crucial pour les nanotechnologies. Les systèmes nano-robotiques dédiés à des applications sous MEB ont ainsi émergé dans de nombreux laboratoires de robot...
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Language: | fr |
| Published: |
2016
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://www.theses.fr/2016GREAT117 |